芯片级气体传感器研发及产业化应用
所属单位
南京迈蒙斯半导体科技有限公司
赛道/组别
数字经济 / 成长组
项目创始人
蒋文凯
项目介绍
气体传感器是气体数据监测最前端的采集层（一种微型敏感元器件），团队主要从事芯片级半导体气体传感器的研发及产业化应用。本项目以有机半导体材料金属酞菁（MPc）为气体敏感材料，首创了高导电石墨烯量子点（GQDs）复合、液相氟化改性、激光（405nm，50mW）诱导等离子效应等改进方法，实现了低功耗情况下对20余种气体分子的高灵敏检测（ppb量级）以及快速响应和恢复（5~10s）。此外，通过结合光刻剥离技术（Lift-Off）和纳米静电植绒技术（Nano-EF），分别实现了器件微型化（0.10mm2）和敏感材料在器件上的高效结合（使用寿命最长可达5年），完成了芯片级气体传感器的商业化量产。项目在微型化、低功耗、高灵敏度、集成化和成本效益等方面优势明显，更适合新能源电池监测、机器人智慧感知、低空巡检、无创诊断等新兴领域的应用需求。
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